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电子级氢氟酸

分子式:HF          分子量:20.01
用途:应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。还可用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀刻。

电子级氢氟酸
级别 UPS级 UP级 EL级
项目 单位 指标 指标 指标
含量 Assay(HF) % 49±0.5 49±0.5 49±0.5
氟硅酸(H2SiF6) ppm ≤50 ≤50 ≤50
氯化物 (Cl) ppm ≤5 ≤5 ≤5
硝酸盐 (NO3-) ppm ≤3 ≤3 ≤3
磷酸盐 (PO43-) ppm ≤1 ≤1 ≤1
硫酸盐和亚硫酸盐 ppm ≤5 ≤5 ≤5
锂 (Li) ppb ≤1 ≤10 ≤100
钠 (Na) ppb ≤1 ≤10 ≤100
镁 (Mg) ppb ≤1 ≤10 ≤100
铝 (Al) ppb ≤1 ≤10 ≤100
钾 (K) ppb ≤1 ≤10 ≤100
钙 (Ca) ppb ≤1 ≤10 ≤100
铬 (Cr) ppb ≤1 ≤10 ≤20
铁 (Fe) ppb ≤1 ≤10 ≤100
钴 (Co) ppb ≤1 ≤10 ≤20
镍 (Ni) ppb ≤1 ≤10 ≤50
铜 (Cu) ppb ≤1 ≤10 ≤20
锌 (Zn) ppb ≤1 ≤10 ≤50
镓 (Ga) ppb ≤1 ≤10 ≤20
钼 (Mo) ppb ≤1 ≤10 ≤100
银 (Ag) ppb ≤1 ≤10 ≤20
镉 (Cd) ppb ≤1 ≤10 ≤50
锡 (Sn) ppb ≤1 ≤10 ≤20
钡 (Ba) ppb ≤1 ≤10 ≤100
铂 (Pt) ppb ≤1 ≤10 ≤100
金 (Au) ppb ≤1 ≤10 ≤20
锰 (Mn) ppb ≤1 ≤10 ≤20
铅 (Pb) ppb ≤1 ≤10 ≤50
钛 (Ti) ppb ≤1 ≤10 ≤10

市场总监:丛伟孜   电话:15133863258    E-mail:cdykjxhg@163.com注:客户特种要求可协商特定规格生产。